首先因素是零件本身的加工精度差，一般来说如果在安装的时候，轴间的动态误差没有调整好，亦或者是因为轴传动链因为磨损产生变化都会影响零件的精度。一般来说这种类型的误差导致的精度篇查可以重新调整补偿量解决。而误差如果太大甚至如果产生报警的话，有必要对伺服电机进行检查，观察其转速是否过高。
其次因素是机床在运行时超调也会影响加工精度，有可能是因为加减速时间过短，适当的延长变化时间，当然了也极有可能是因为丝杠与伺服电机的链接产生松动。
然后因素是因为两轴联动产生的圆度超差，机械未调整好形成圆的轴向变形，轴的丝杠间隙补偿不对或者是轴定位发生偏移，都可能会对精密零件的精度产生影响。